東華大學圖書館 |

Language: English

Back to Search results for [ subject:"釋氣" ]

Switch To: Labeled | MARC Mode | ISBD

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = = Studies o...

張惇欣

Amazon

博客來

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = = Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = / 張惇欣撰
Reminder of title:	Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films /
remainder title:	Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films
Author:	張惇欣
Published:	[花蓮縣] : 國立東華大學材料科學與工程學系, : 民95[2006],
Description:	7,81面 : 圖,表 ; 30公分
Notes:	指導教授︰黃士龍
Subject:	脈衝 -
Online resource:	http://134.208.10.124/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0726106-153009PDF全文

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = = Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films /
張惇欣

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films / Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films張惇欣撰 - [花蓮縣] : 國立東華大學材料科學與工程學系, 民95[2006] - 7,81面 : 圖,表 ; 30公分

指導教授︰黃士龍

碩士論文--國立東華大學材料科學與工程學系,2006

參考書目︰面80-81Subjects--Topical Terms:

2473875
脈衝

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = = Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films /
LDR:00828nam 2200193 i 4500 001 183325
005 20110131180454.0
008 090805n2006uuuuch e b 000 u chi d
035 $a NDHU9508022
035 $a 183325
040 $a 東華 $b chi $e ccr
066 $c $1
100 1 $a 張惇欣 $e 撰 $3 2562484
245 1 0 $a 以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = $b Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films / $c 張惇欣撰
246 1 1 $a Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films
260 # $a [花蓮縣] : $b 國立東華大學材料科學與工程學系, $c 民95[2006]
300 $a 7,81面 : $b 圖,表 ; $c 30公分
500 $a 指導教授︰黃士龍
502 $a 碩士論文--國立東華大學材料科學與工程學系,2006
504 $a 參考書目︰面80-81
650 # 7 $a 脈衝 $2 csht $3 2473875
650 # 7 $a 氮化鋁 $2 csht $3 2490953
650 # 7 $a 遲滯現象 $2 csht $3 2562485
650 # 7 $a 濺鍍 $2 csht $3 2406763
650 # 7 $a 釋氣 $2 csht $3 2562486
856 7 # $u http://134.208.10.124/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0726106-153009 $z PDF全文 $2 http