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以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = = Studies o...

張惇欣

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博客來

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = = Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = / 張惇欣撰
其他題名:	Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films /
其他題名:	Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films
作者:	張惇欣
出版者:	[花蓮縣] : 國立東華大學材料科學與工程學系, : 民95[2006],
面頁冊數:	7,81面 : 圖,表 ; 30公分
附註:	指導教授︰黃士龍
標題:	脈衝 -
電子資源:	http://134.208.10.124/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0726106-153009PDF全文

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = = Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films /
張惇欣

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films / Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films張惇欣撰 - [花蓮縣] : 國立東華大學材料科學與工程學系, 民95[2006] - 7,81面 : 圖,表 ; 30公分

指導教授︰黃士龍

碩士論文--國立東華大學材料科學與工程學系,2006

參考書目︰面80-81Subjects--Topical Terms:

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脈衝

以反應性脈衝磁控濺鍍法製作氮化鋁薄膜之研究 = = Studies of Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering of AlN Thin Films /
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