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半導體業局部排氣系統之研究 = = The study of loca...

張振平

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半導體業局部排氣系統之研究 = = The study of local ventilation system in semiconduct factorys /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	半導體業局部排氣系統之研究 = / 張振平研究主持
其他題名:	The study of local ventilation system in semiconduct factorys /
其他題名:	The study of local ventilation system in semiconduct factorys
作者:	張振平
出版者:	臺北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, : 民88[1999],
面頁冊數:	v,60面 : 圖,表格 ; 30公分
附註:	主辦單位:行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
標題:	工業安全 -

半導體業局部排氣系統之研究 = = The study of local ventilation system in semiconduct factorys /
張振平

半導體業局部排氣系統之研究 = The study of local ventilation system in semiconduct factorys / The study of local ventilation system in semiconduct factorys張振平研究主持 - 臺北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, 民88[1999] - v,60面 : 圖,表格 ; 30公分 - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH88-H308. - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH88-H308.

主辦單位:行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所

參考書目: 面20-28

NT100Subjects--Topical Terms:

1632463
工業安全

半導體業局部排氣系統之研究 = = The study of local ventilation system in semiconduct factorys /
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246 1 1 $a The study of local ventilation system in semiconduct factorys
246 1 3 $a 晶圓工廠局部排氣改善研究
260 $a 臺北市 : $b 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, $c 民88[1999]
300 $a v,60面 : $b 圖,表格 ; $c 30公分
490 1 $a IOSH勞工安全衛生研究報告 ; $v IOSH88-H308
500 $a 主辦單位:行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
500 $a 八十八年度研究計畫;研究期間: 中華民國87年7月1日至88年6月30日
500 $a 封面題名:晶圓工廠局部排氣改善研究
504 $a 參考書目: 面20-28
504 $a 附錄:機台所測得之濃度時間曲線圖
563 $a NT100
650 7 $a 工業安全 $2 lcstt $3 1632463
650 7 $a 工業衛生 $2 csht $3 2262970
830 0 $a IOSH勞工安全衛生研究報告 ; $v IOSH88-H308 $3 2332675