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雙頻磁化加強型電容式電漿特性 = = Magnetically Enh...

~

蕭志宏

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博客來

雙頻磁化加強型電容式電漿特性 = = Magnetically Enhanced Dual Frequency Capacitive Discharge /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	雙頻磁化加強型電容式電漿特性 = / 蕭志宏撰
其他題名:	Magnetically Enhanced Dual Frequency Capacitive Discharge /
其他題名:	Magnetically Enhanced Dual Frequency Capacitive Discharge
作者:	蕭志宏
出版者:	[花蓮縣] : 國立東華大學電機工程學系, : 民92[2003],
面頁冊數:	7,84面 : 圖,表 ; 30公分
附註:	指導教授︰陳炳宏、許鈞瓏
標題:	電容式 -
電子資源:	http://134.208.10.124/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0724103-193427PDF全文

雙頻磁化加強型電容式電漿特性 = = Magnetically Enhanced Dual Frequency Capacitive Discharge /
蕭志宏

雙頻磁化加強型電容式電漿特性 = Magnetically Enhanced Dual Frequency Capacitive Discharge / Magnetically Enhanced Dual Frequency Capacitive Discharge蕭志宏撰 - [花蓮縣] : 國立東華大學電機工程學系, 民92[2003] - 7,84面 : 圖,表 ; 30公分

指導教授︰陳炳宏、許鈞瓏

碩士論文--國立東華大學電機工程學系,2003

參考書目︰面81-84Subjects--Topical Terms:

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電容式

雙頻磁化加強型電容式電漿特性 = = Magnetically Enhanced Dual Frequency Capacitive Discharge /
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館藏地: 出版年: 卷號:

館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

GE0034683

五樓論文區 (5F Theses & Dissertations)

03.不外借_N

本校碩士論文

T 448.6 4443.1

一般使用(Normal)

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