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砷化鋁鎵/砷化銦鎵高電子遷移率場效電晶體選擇性蝕刻製程之研究 = = ...

洪嘉嶸

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博客來

砷化鋁鎵/砷化銦鎵高電子遷移率場效電晶體選擇性蝕刻製程之研究 = = Selective Etch Process of AlGaAs/InGaAs High-Electron Mobility Transistors /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	砷化鋁鎵/砷化銦鎵高電子遷移率場效電晶體選擇性蝕刻製程之研究 = / 洪嘉嶸撰
Reminder of title:	Selective Etch Process of AlGaAs/InGaAs High-Electron Mobility Transistors /
remainder title:	Selective Etch Process of AlGaAs/InGaAs High-Electron Mobility Transistors
Author:	洪嘉嶸
other author:	林育賢
Published:	[花蓮縣壽豐鄉 : 國立東華大學材料科學與工程學系], : 民98[2009],
Description:	91面 : 圖,表 ; 30公分
Notes:	指導教授︰林育賢
Subject:	高電子遷移場效電晶體 -
Online resource:	http://hdl.handle.net/11296/28829kPDF全文

砷化鋁鎵/砷化銦鎵高電子遷移率場效電晶體選擇性蝕刻製程之研究 = = Selective Etch Process of AlGaAs/InGaAs High-Electron Mobility Transistors /
洪嘉嶸

砷化鋁鎵/砷化銦鎵高電子遷移率場效電晶體選擇性蝕刻製程之研究 = Selective Etch Process of AlGaAs/InGaAs High-Electron Mobility Transistors / Selective Etch Process of AlGaAs/InGaAs High-Electron Mobility Transistors洪嘉嶸撰 - [花蓮縣壽豐鄉 : 國立東華大學材料科學與工程學系], 民98[2009] - 91面 : 圖,表 ; 30公分

指導教授︰林育賢

碩士論文--國立東華大學材料科學與工程學系,2009

參考書目︰面35-38Subjects--Topical Terms:

2880116
高電子遷移場效電晶體

砷化鋁鎵/砷化銦鎵高電子遷移率場效電晶體選擇性蝕刻製程之研究 = = Selective Etch Process of AlGaAs/InGaAs High-Electron Mobility Transistors /
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300 $a 91面 : $b 圖,表 ; $c 30公分
500 $a 指導教授︰林育賢
502 $a 碩士論文--國立東華大學材料科學與工程學系,2009
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650 # 7 $a 高電子遷移場效電晶體 $2 csht $3 2880116
650 # 7 $a 選擇性蝕刻 $2 csht $3 2880117
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