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晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = = The evalu...

張振平

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晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = = The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = / 張振平研究主持
Reminder of title:	The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 /
remainder title:	The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation
Author:	張振平
Published:	臺北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, : 民88[1999],
Description:	vi,42面 : 圖,表格 ; 30公分
Notes:	主辦單位:行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
Subject:	工業安全 -

晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = = The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 /
張振平

晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 / The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation張振平研究主持 - 臺北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, 民88[1999] - vi,42面 : 圖,表格 ; 30公分 - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH88-A314. - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH88-A314.

主辦單位:行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所

參考書目: 面39-42

NT120Subjects--Topical Terms:

1632463
工業安全

晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = = The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 /
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246 1 1 $a The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation
260 $a 臺北市 : $b 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, $c 民88[1999]
300 $a vi,42面 : $b 圖,表格 ; $c 30公分
490 1 $a IOSH勞工安全衛生研究報告 ; $v IOSH88-A314
500 $a 主辦單位:行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
500 $a 八十八年度研究計畫;研究期間: 中華民國87年7月1日至88年6月30日
504 $a 參考書目: 面39-42
563 $a NT120
650 7 $a 工業安全 $2 lcstt $3 1632463
650 7 $a 工業衛生 $2 csht $3 2262970
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