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半導體製造業晶圓廠設施安全評估 = = Safety evaluati...

工業技術研究院工業安全衛生技術發展中心

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博客來

半導體製造業晶圓廠設施安全評估 = = Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs : 正壓設施 /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	半導體製造業晶圓廠設施安全評估 = / 黃建彰研究主持 ; 工業技術研究院工業安全衛生技術發展中心計畫研究 ; 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所計畫主辦
Reminder of title:	Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs : 正壓設施 /
remainder title:	Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs
Author:	黃建彰
Published:	臺北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, : 民89[2000],
Description:	viii,122面 : 圖,表格 ; 30公分
Notes:	八十九年度研究計畫;研究期間: 中華民國88年9月1日至89年8月31日
Subject:	工業安全 -

半導體製造業晶圓廠設施安全評估 = = Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs : 正壓設施 /
黃建彰

半導體製造業晶圓廠設施安全評估 = Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs : 正壓設施 / Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs黃建彰研究主持 ; 工業技術研究院工業安全衛生技術發展中心計畫研究 ; 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所計畫主辦 - 臺北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, 民89[2000] - viii,122面 : 圖,表格 ; 30公分 - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH89-S112. - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH89-S112.

八十九年度研究計畫;研究期間: 中華民國88年9月1日至89年8月31日

參考書目: 面52-86

NT160Subjects--Topical Terms:

1632463
工業安全

半導體製造業晶圓廠設施安全評估 = = Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs : 正壓設施 /
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245 1 0 $a 半導體製造業晶圓廠設施安全評估 = $b Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs : 正壓設施 / $c 黃建彰研究主持 ; 工業技術研究院工業安全衛生技術發展中心計畫研究 ; 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所計畫主辦
246 1 1 $a Safety evaluation of the positive pressure(gas supply system)in the semiconductor fabs
260 $a 臺北市 : $b 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, $c 民89[2000]
300 $a viii,122面 : $b 圖,表格 ; $c 30公分
490 1 $a IOSH勞工安全衛生研究報告 ; $v IOSH89-S112
500 $a 八十九年度研究計畫;研究期間: 中華民國88年9月1日至89年8月31日
504 $a 參考書目: 面52-86
504 $a 附錄:1.鋼瓶櫃分系統之設備FMEA;2.固定於槽車容器分系統之設備FMEA;3.鋼瓶櫃作業安全之FMEA
563 $a NT160
650 7 $a 工業安全 $2 lcstt $3 1632463
650 7 $a 工業衛生 $2 csht $3 2262970
710 2 $a 工業技術研究院工業安全衛生技術發展中心 $e 計畫研究 $3 2313939
710 2 $a 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所 $e 計畫主辦 $3 2312221
830 0 $a IOSH勞工安全衛生研究報告 ; $v IOSH89-S112 $3 2332681