Science and technology of semiconduc...
Higashi, Gregg S.

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  • Science and technology of semiconductor surface preparation : = symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A. /
  • 紀錄類型: 書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
    正題名/作者: Science and technology of semiconductor surface preparation :/ editors, Gregg S. Higashi ... [et al.].
    其他題名: symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A. /
    其他作者: Higashi, Gregg S.
    出版者: Pittsburgh, Pa. :Materials Research Society, : c1997.,
    面頁冊數: xiii, 545 p. :ill. ;24 cm.
    標題: Semiconductors - Cleaning -
    ISBN: 1558993819 :
館藏地:  出版年:  卷號: 
館藏
  • 1 筆 • 頁數 1 •
 
W0110703 罕用書庫221室(美崙校區,調書請點預約)(RU_221) 01.外借(書)_YB 一般圖書 TK7871.85 S396 1997 一般使用(Normal) 在架 0
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