| Record Type: |
Language materials, printed
: Monograph/item
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| Title/Author: |
半導體產業用水及污水處理研究 / / 橫山明聰主持 ; 林建德,孫逸民共同主持 |
| remainder title: |
The study of fabrication for high-purity water and the handle of used water in semiconductor industry |
| Author: |
橫山明聰 |
| other author: |
林建德 |
| Published: |
臺北市 : 經濟部水資源局, : 1999[民88], |
| Description: |
[4],79面 : 圖表 ; 29公分 |
| Notes: |
主辦單位: 經濟部水資源局;執行單位: 國立成功大學半導體中心;協辦單位: 國立成功大學 |
| Subject: |
污水處理 - |