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反應濺鍍AlCoCrCuFeNi多元氮化物及氧化物薄膜之製備、結構與性質...

陳大坤

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反應濺鍍AlCoCrCuFeNi多元氮化物及氧化物薄膜之製備、結構與性質研究 = = Preparation, Structure and Properties of AlCoCrCuFeNi Multi-element Nitride and Oxide Films by Reactive Sputtering /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	反應濺鍍AlCoCrCuFeNi多元氮化物及氧化物薄膜之製備、結構與性質研究 = / 陳大坤撰
Reminder of title:	Preparation, Structure and Properties of AlCoCrCuFeNi Multi-element Nitride and Oxide Films by Reactive Sputtering /
remainder title:	Preparation, Structure and Properties of AlCoCrCuFeNi Multi-element Nitride and Oxide Films by Reactive Sputtering
Author:	陳大坤
Published:	[花蓮縣] : 國立東華大學材料科學與工程學系, : 民97[2008],
Description:	357面 : 圖,表 ; 30公分
Notes:	指導教授︰翁明壽
Subject:	p型半導體 -
Online resource:	http://etd.lib.ndhu.edu.tw/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0122108-143225PDF全文

反應濺鍍AlCoCrCuFeNi多元氮化物及氧化物薄膜之製備、結構與性質研究 = = Preparation, Structure and Properties of AlCoCrCuFeNi Multi-element Nitride and Oxide Films by Reactive Sputtering /
陳大坤

反應濺鍍AlCoCrCuFeNi多元氮化物及氧化物薄膜之製備、結構與性質研究 = Preparation, Structure and Properties of AlCoCrCuFeNi Multi-element Nitride and Oxide Films by Reactive Sputtering / Preparation, Structure and Properties of AlCoCrCuFeNi Multi-element Nitride and Oxide Films by Reactive Sputtering陳大坤撰 - [花蓮縣] : 國立東華大學材料科學與工程學系, 民97[2008] - 357面 : 圖,表 ; 30公分

指導教授︰翁明壽

博士論文--國立東華大學材料科學與工程學系,2008

參考書目︰面329-354Subjects--Topical Terms:

2634340
p型半導體

反應濺鍍AlCoCrCuFeNi多元氮化物及氧化物薄膜之製備、結構與性質研究 = = Preparation, Structure and Properties of AlCoCrCuFeNi Multi-element Nitride and Oxide Films by Reactive Sputtering /
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