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基材偏壓效應對碳摻雜二氧化鈦薄膜共濺鍍之結構與性質之研究 = = Su...

林光彥

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博客來

基材偏壓效應對碳摻雜二氧化鈦薄膜共濺鍍之結構與性質之研究 = = Substrate bias effect on structure and properties of co-sputtered carbon-doped titanium oxide films /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	基材偏壓效應對碳摻雜二氧化鈦薄膜共濺鍍之結構與性質之研究 = / 林光彥撰
Reminder of title:	Substrate bias effect on structure and properties of co-sputtered carbon-doped titanium oxide films /
remainder title:	Substrate bias effect on structure and properties of co-sputtered carbon-doped titanium oxide films
Author:	林光彥
other author:	翁明壽
Published:	[花蓮縣壽豐鄉] : [國立東華大學材料科學與工程學系], : 2013[民102],
Description:	10,77面 : 圖,表 ; 30公分
Notes:	畢業學年度: 102
Online resource:	http://134.208.29.93/cgi-bin/cdrfb3/gsweb.cgi?o=dstdcdr&i=ssid=%2269722037%22.電子全文

基材偏壓效應對碳摻雜二氧化鈦薄膜共濺鍍之結構與性質之研究 = = Substrate bias effect on structure and properties of co-sputtered carbon-doped titanium oxide films /
林光彥

基材偏壓效應對碳摻雜二氧化鈦薄膜共濺鍍之結構與性質之研究 = Substrate bias effect on structure and properties of co-sputtered carbon-doped titanium oxide films / Substrate bias effect on structure and properties of co-sputtered carbon-doped titanium oxide films林光彥撰 - [花蓮縣壽豐鄉] : [國立東華大學材料科學與工程學系], 2013[民102] - 10,77面 : 圖,表 ; 30公分

畢業學年度: 102

碩士論文-- 國立東華大學材料科學與工程學系

參考書目: 面74-77

贈閱Subjects--Index Terms:

二氧化鈦

基材偏壓效應對碳摻雜二氧化鈦薄膜共濺鍍之結構與性質之研究 = = Substrate bias effect on structure and properties of co-sputtered carbon-doped titanium oxide films /
LDR:01305cam a2200337 i 4500 001 1907748
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246 1 1 $a Substrate bias effect on structure and properties of co-sputtered carbon-doped titanium oxide films
260 $a [花蓮縣壽豐鄉] : $b [國立東華大學材料科學與工程學系], $c 2013[民102]
300 $a 10,77面 : $b 圖,表 ; $c 30公分
500 $a 畢業學年度: 102
500 $a 指導教授: 翁明壽
502 $a 碩士論文-- 國立東華大學材料科學與工程學系
504 $a 參考書目: 面74-77
504 $a 含附錄
563 $a 贈閱
653 0 $a 二氧化鈦
653 0 $a 摻碳二氧化鈦
653 0 $a 離子轟擊
653 0 $a 反應式濺鍍
653 0 $a 共濺鍍
653 0 $a titanium oxide
653 0 $a carbon-doped titania oxide
653 0 $a ion bombardment
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653 0 $a co-sputtering
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