于家生
概要
| 作品: | 1 作品在 0 項出版品 0 種語言 | |
|---|---|---|
書目資訊
雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /
by:
于家生; 陳炳宏
(書目-語言資料,印刷品)
主題