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電容式電漿源對高頻響應的模擬分析 = = Simulation of ...

曹晃碩

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博客來

電容式電漿源對高頻響應的模擬分析 = = Simulation of high frequency response on capacitive plasma source /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	電容式電漿源對高頻響應的模擬分析 = / 曹晃碩撰
其他題名:	Simulation of high frequency response on capacitive plasma source /
其他題名:	Simulation of high frequency response on capacitive plasma source
作者:	曹晃碩
其他作者:	陳炳宏
出版者:	民91[2002],
面頁冊數:	[x],89葉 : 圖,表 ; 30公分
附註:	指導教授: 陳炳宏
標題:	電漿 -

電容式電漿源對高頻響應的模擬分析 = = Simulation of high frequency response on capacitive plasma source /
曹晃碩

電容式電漿源對高頻響應的模擬分析 = Simulation of high frequency response on capacitive plasma source / Simulation of high frequency response on capacitive plasma source曹晃碩撰 - 民91[2002] - [x],89葉 : 圖,表 ; 30公分

指導教授: 陳炳宏

碩士論文--國立東華大學電機工程研究所,2002

參考書目: 面87-89Subjects--Topical Terms:

2349732
電漿

電容式電漿源對高頻響應的模擬分析 = = Simulation of high frequency response on capacitive plasma source /
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